テーブル作業面の大きさ:
LF400
半導体製造装置、医療機器向け微細精密部品を加工
長時間加工時にも安定した精密加工を実現
テーブル作業面の大きさ:
450 × 450 mm
X軸:
370 mm
Y軸:
370 mm
Z軸:
200 mm
早送り速度:
16000 / 5000 mm/min(X・Y / Z 軸)
最大ワーク寸法:
450 × 450 × 200 mm
テーブル作業面の大きさ:
420 × 400 mm
X軸:
410 + 70 mm (*1)
Y軸:
400 mm
Z軸:
200 mm
早送り速度:
60000 / 2000 mm/min(X・Y / Z 軸)
最大ワーク寸法:
400 × 300 × 200 mm
テーブル作業面の大きさ:
560 × 500 mm
X軸:
500 + 130 + 130 mm (*1)
Y軸:
400 mm
Z軸:
500 mm
早送り速度:
60000 mm/min
最大ワーク寸法:
500 × 500 × 500 mm